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光切法顯微鏡的原理
光切法是利用光切原理來測量表面粗糙度的方法, 它將一束平行光帶以一定角度投射與被測表面上,光帶與表面輪廓相交的曲線影像即反映了被測表面的微觀幾何形狀, 解決了工件表面微小峰谷深度的測量問題, 避免了與被測表面的接觸。由于它采用了光切原理, 所以可測表面的輪廓峰谷的較大和較小高度,要受物鏡的景深和鑒別率的限制。峰谷高度超出一定的范圍, 就不能在目鏡視場中成清晰的真實圖像而導致無法測量或者測量誤差很大。但由于該方法成本低、易于操作, 所以還在被廣泛應用。 光切法屬于非接觸性測量粗糙度。包括:光切法、實時全息法、散斑法、像散測定法、光外差干涉法、A FM 法、光學傳感器法等
本文關鍵詞:光切法顯微鏡,原理
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光切法顯微鏡 9J 產品介紹: 9J是以光切測量另件加工表面的微觀不平度。其能判國家標準GB 1031-68所規定▽3-▽9級表面光潔度。(表面粗糙度12.5-0.2)對于表面劃痕、刻線或某些缺陷的深度也可用來進行測量。 光切法特點是在不破壞表面的狀況下進行的。是一種間接測量方法。即要經過計算后才能確定紋痕的不平度。
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